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基本參數(shù)

Furon CDV閥結(jié)合了占用空間小、高介質(zhì)壓力能力和高Cv流量系數(shù)的特點(diǎn)，特別適合要求緊湊設(shè)計(jì)和高流量的半導(dǎo)體工藝、高純和腐蝕性化學(xué)應(yīng)用。這款Furon CDV高純閥采用氣動(dòng)二通隔膜閥實(shí)現(xiàn)可靠的開(kāi)/關(guān)控制。CDV閥的超純?cè)O(shè)計(jì)采用注塑成型、高純PFA接液流體通路和原始PTFE膜片實(shí)現(xiàn)，并采用滾動(dòng)膜片技術(shù)。